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Electron Microscope

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제품명 : SNE-3000MS





SNE-3000MS

Tabletop SEM의 기준이 되는 SNE-3000MS





▣ Performance


- Resolution : 15nm
- Magnification : 60,000x
- SE Detector : SE Image



전자현미경으로 주로 사용되는 1만배 전후의 샘플 표면 이미지를 관찰하기에 적합한 Tabletop SEM이다.
15nm의 분해능과 6만배까지 배율 확대가 가능한 저렴한 보급형 Tabletop SEM이다.





SE (Secondary Electron)-2차전자

요철에 의한 정보로 이미지 형성, 주로 표면현상 관찰로 가장 널리 사용.









▣ Convenience

- Stage System : X,Y,R (3-axis), Beam Shift : 150㎛
- Auto Setting : Focus, Contrast, Brightness
- Simple S/W : Convenient Operation



총 3축 구성으로 간편한 샘플 위치 이동과 프로그램내에 마우스 조작으로 단순하고 편리하게 작동 가능하다.
단계적인 스캔모드와 측정도구로 다양한 분석결과 획득이 가능하다.
















▣ Specifications

Electron System  Resolution  15nm (30kV, SE Image)
 Magnification  20x~60,000x
 Accelerating Voltage  1~30kV (1/5/10/15/20/30)
 Detector  Secondary Electron Image (SE)
 Electron Gun  Pre-centered Tungsten Filament Cartridge
Stage System  Stage Traverse  3-axis System (X, Y, R - Manual)
 X, Y-axis : 40mm / R-axis : 360˚
 * Image Shift : ±150㎛
 * Tilt-axis : 0~45˚ (Option)
 Max. Sample Size  70mm in Diameter x 30mm in Height
Image System  Automation Fuction  Auto Start, Auto Focus, Auto Stigmator,
 Auto Contrast & Brightness
 Image Format  BMP, JPEG, PNG, TIFF
Vacuum System  Vacuum Mode  High Vacuum
 Vacuum Pump  Rotary Pump / Turbo Molecular Pump
 (Full Automation)
Dimensions  Main Unit  390(W) x 380(D) x 560(H)mm, 83kg
 Controller Unit  390(W) x 325(D) x 560(H)mm, 37kg
 Rotary Pump  400(W) x 160(D) x 340(H)mm, 24kg









▣ EDS System










▣ EDS System