EDS (Energy Dispersive X-ray Spectrometer)는 SEM에 부착되어 시료 표면의 성분을 분석하는 장비로써
전자현미경에서 방사된 입사 전자가 시료에 충돌하면서 발생되는 특성 X-ray를 검출하여 정성·정량 분석에 이용됩니다.
SEC SEM 모델에 맞춘 컴팩트한 디자인으로 설계된 소형 EDS는
일반적인 EDS와 동일한 성능과 분석 프로그램이 탑재되어 있습니다.

Features
• SDD타입 Detector 사용
• 문구변경: 더욱 뛰어난 에너지 분해능으로 경원소 분석이 가능
• 신뢰성 있는 wt%, at% 정량 분석 결과 제공
• 빠르고 간편한 조작으로 유저 친화적인 프로그램 제공
• 주요기능 : 정성·정량 분석, Mapping Line Scan, Report 등